綠城市。
2007年元旦剛過。
高新區真理電子工廠,迎來了京城科工委的專家調研團。
由於趙主任親自掛帥,使得平原省、綠城市兩級部門不敢怠慢,主要領導都到場親自陪同。
這樣的大陣仗,林暢也是第一次面對。
他準備了簡短的歡迎儀式,然後陪同著領導和專家們一起進入廠區。
主要經辦人劉彬、許安易,給來訪的眾人講解矽片廠、晶圓廠的建設情況。
花費了一個多小時,領導們和專家團在廠區內的建設工地,走馬觀花的看了一遍。
京城大學的齊教授感慨道:“國內投建的幾家晶片製造廠,我都參與或實地瞭解過,沒想到你們的廠房建設,竟然全是自研技術,而且指標還這麼高!”
許安易笑著回道:“我們在晶圓廠內的佈局上,也參考了不少國外的方案。”
“但世界上目前已經投產、最先進的只有65奈米工藝,而我們的目標是45奈米制程甚至更小,而且還是12寸的大晶圓,需求的生產環境差別比較大,沒有參照物件只能自己建立新的指標和要求。”
對於他自誇式的回答,不少專家都皺起了眉頭。
某大學教授沉聲道:“不管你們廠房的建設技術是自研還是引進的,但話還是不要說太滿!據我所知,因特爾對於45奈米的研究很早就開始了…”
旁邊一位中年教授也插話道:“有幹勁是好事,但口號喊得再大也沒用,得拿出真材實料來,不要像那個研發‘漢芯’的人一樣鬧出笑話!”
專家團來之前,看了不少這次調研物件的技術資料。
真理科技宣稱成功研發的12寸晶圓技術,就已經夠讓人吃驚了,更別說比世界、比燈塔國都要先進的45奈米制程了。
曾經獲獎無數的“漢芯”專家,造假吹牛都不敢說這麼大,超越世界的製程技術是那麼容易的?
一旁陪同的綠城市市長蔡元嬰,聽到這麼多專家質疑,心裡很是不平。
他站出來笑著說道:“林總,要不咱們直接去實驗室,看看你們的裝置?畢竟領導和專家們只看過上報的技術資料,還沒見到過實物啊。”
趙主任笑呵呵的看了蔡元嬰一眼,也說道:“真理科技之前的成就,已經得到了充分驗證,我們這次興師動眾的過來,也是為表達部委乃至國家對你們的重視,所以林總方便的話,就優先展示你們在晶片製造領域的重要技術成果吧。”
林暢笑著點點頭,“沒問題,大家請跟隨我去那邊的實驗樓。”
實驗樓一樓。
這裡整層都被改造成晶片實驗室,已經小批次的在試生產晶片了。
劉彬作為真理半導體的負責人,從晶圓的加工裝置開始,一路帶著大家觀看切割、研磨等各個工序。
然後是光刻、刻蝕、沉積直到封裝測試的整個工藝流程。
穿著防護服的劉彬,指著剛剛完成封裝的一批45奈米制程晶片,大聲的宣講著:
“各位領導,各位專家,矽晶的製備裝置我們也已經制造完畢,但在實驗樓不好部署展示。”
“目前能看到的工藝流程中,包括eda晶片設計軟體,掩膜板的製作,光刻機以及重要的耗材等,這些核心裝置全都是我們獨自研發,次要裝置是在國內相關廠家定製的,整個晶片製造產線可以說是100夏國製造!”
他的話音剛落,領導和專家團便激動的鼓起了掌!
整個參觀過程大家都是靜默的,誰也沒想到這個面積龐大的實驗室裡,如此先進的裝置竟然都是自研的。
那臺名為zl400的浸沒式duv光刻機,採用了193奈米arf光源,這可