“梁博士,你們有沒有檢查晶圓材料?”葉雲州問道。
星耀半導體在海京建造的晶圓材料生產廠還沒有建成,目前用的晶圓材料都是從日本信越化學進口的。
晶片製造對材料的要求很高,如果材料的純度、質量等不符合要求,可能會影響晶片的效能和可靠性。
例如,使用的矽晶圓有缺陷,就可能會導致晶片出現故障。
“董事長,應該不可能吧,如果是材料的問題其它晶片也不可能流片成功啊,這些晶圓材料都是同一批採購的。”
“走,梁博士,叫上材料檢測的幾位專家跟我一起去現場看看。”
“呃,好。”
梁夢鬆起身,拿出手機給材料檢測科的人打電話。
很快,葉雲州,梁夢松和蘇瑤三人來到晶片製造廠,三人穿上靜電無塵服,將全身包裹得嚴嚴實實,又經過高度清潔外表後才踏入工廠。
幾人來到晶圓材料放置的庫房,幾位材料檢測的專家已經在等待了。
“董事長,梁廠長”
“別多禮了,這批晶圓材料都檢測過嗎?”葉雲州問道。
“這是第三批從日本進口的材料,我們已經抽檢過了,沒問題。”其中一位比較年輕的材料檢測專家回覆道。
“這批材料也是從信越化學進口的?”
“不是,這一批是從su進口的。”
葉雲州皺眉問道:“我們不是一直從信越化學進口嗎?怎麼有su的?”
梁夢松在旁邊親自解釋道:“董事長,目前我們的供應商有三家,分別是信越化學,su和世創電子材料。”
“嗯,這三家就是目前世界排名前三的晶圓製造廠,前兩家是日本的,後面一家是德國的。”
葉雲州點點頭,大概瞭解了。
“你們就是用從su進口的晶圓來流片的時候失敗的是吧。”
“是的,董事長。”
“好,那先集中抽檢這批從su進口的晶圓。”
在場的幾位材料檢測專家明顯臉上不好看,看來董事長不信任他們啊,明明他們已經抽檢過了,董事長還要抽檢一次。
不過,他們也不敢忤逆老闆,這個老闆可是葉雲州啊。
檢測晶圓材料是否有缺陷有多種辦法。
在葉雲州現場指揮下,檢測專家們透過三種不同的方法來檢測。
第一種方法是光學檢測法。
利用光學顯微鏡可以直接觀察晶圓表面的微觀缺陷,如劃痕、顆粒、凹坑等。這種方法簡單直接,但檢測精度有限,對於較小的缺陷可能難以發現。
而透過光學干涉測量來檢測就精準得多。
透過比較反射光的干涉圖案來檢測晶圓表面的平整度和微小的高度差,能夠發現奈米級別的表面缺陷。
第二種方法是電子束檢測。
在掃描電子顯微鏡下,用聚焦電子束掃描晶圓表面,產生二次電子影象,可以高解析度地觀察晶圓的微觀結構和缺陷,對檢測尺寸非常小的缺陷很有效。
還可以用電子束誘導電流來檢測。主要用於檢測半導體晶圓中的電學效能缺陷,如晶體缺陷、雜質分佈等,透過電子束激發產生的電流變化來發現缺陷。
第三種方法是x射線檢測。
在x射線衍射下,透過分析x射線在晶圓晶體結構中的衍射圖案,來檢測晶體結構的完整性,如晶格畸變、多晶現象等缺陷。
在x射線斷層掃描下,可以對晶圓內部進行三維成像,用於檢測內部的裂紋、空洞等缺陷,這種技術對複雜的三維缺陷檢測效果較好。
很快,三個小時過去了。
透過三種方法檢測的人都暫時