“CICC技術偏離HDS，奈米氧化矽薄膜。”潘秋冰說了一句話算是解釋，然後不管陳靈嬰站在這裡接著開始自己剛剛沒有做完的事情。
氧化矽是一種輕質奈米多孔非晶材料,由於其獨特的微觀結構，也就是包含奈米尺度的孔洞與微粒而具有一些優異的效能。
潘秋冰手中的東西就是奈米氧化矽薄膜。
陳靈嬰就站在潘秋冰身後一步看著眼前的一群人手中拿著東西和儀器忙碌。
奈米多孔氧化矽薄膜可用作防眩光塗層、高效絕熱層、聲阻抗耦合材料、低介電常數絕緣層、超高速積體電路基片以及分離薄膜過濾薄膜、催化薄膜等。
因此，在光學、熱學、聲學、電學和化學等領域具有廣闊的應用前景。而對奈米多孔氧化矽薄膜製備及效能表徵的研究已成為材料相關領域的熱點之一。
但是傳統得到氧化矽薄膜都是採用溼法制備，這種方法嚴重汙染環境，不利於環保。
陳靈嬰看了好一會兒，才明白潘秋冰站在這裡是為了什麼。
離子體增強化學氣相沉積方法是在完全乾態環境中進行的，並且反應溫度低，適合大面積製備。
以往的等離子體增強化學氣相沉寂方法制備薄膜通常在較低的氣壓下實現，由於被裂解的粒子能量較高，所以薄膜緻密無孔，無法得到真正的多孔膜。
潘秋冰這次過來就是為了解決這個問題。
在接近常壓的條件下，採用PECVD方法，並且在實驗中首次引入脈衝負偏壓對沉積過程進行調節，透過改變負偏壓的佔空比，在玻璃片上沉積得到不同性質的多孔氧化矽薄膜。
羲和基地內不僅僅只有羲和計劃神光四號的成功點火目標，還有一系列的相關方面的旁支科研目標。
李鳶戾從旁邊拿了一把椅子給陳靈嬰坐，自己則是眼觀鼻鼻觀心老神在在站著。
實驗才剛剛開始。
或許是因為沒有什麼事情要做，而且實驗剛開始一般也不會出現什麼錯誤的緣故，潘秋冰也找了一把椅子來然後坐在陳靈嬰身旁，
“這次的實驗採用的是我自行設計的PECVD裝置。”
說到自己擅長的領域的時候潘秋冰眼神很亮，作為四個副指揮中唯一的女性，沒有人知道她有多努力，又在背後付出了多少才能走到如今這個程度。
時間，睡眠，健康，甚至是家人。
潘秋冰看著眼前的像一個圓球的真空泵，
“在我的實驗計劃中，首先用真空泵將反應器中的空氣排出，然後將氬氣和氫氣(體積比95:5)充分混合後通入，使得反應器中壓強維持在0.8x10Pa附近，在這個時候開啟電源，電極間就會產生產生均勻的等離子體。”
陳靈嬰一挑眉，這和她那天晚上針對等離子體密度不均時提出的解決辦法有異曲同工之妙。
“反應源氣體矽烷透過等離子體區域時被裂解，在玻璃基片上沉積得到多孔氧化矽薄膜。為使放電均勻，實驗採用平行梳狀電極，電極間距5mm左右。為了得到不同的性質薄膜,實驗中在沉積區域加上脈衝偏壓進行調節，偏壓固定在-350V，佔空比調節範圍在0.162-0.864之間。”
潘秋冰深呼吸一口氣，看向陳靈嬰，二人對視，
“沉積用玻璃片首先在丙酮和酒精中分別超聲15min,然後用去離子水沖洗，最後用氮氣吹乾待用。”
“如果不出意外的話，實驗成功。”
潘秋冰看起來很嚴肅，不知道怎麼回事陳靈嬰突然想逗逗她，
“那出了意外實驗失敗了怎麼辦？”
潘秋冰依舊很嚴肅，板著一張臉一本正經地說：
“那可能是因