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第413章 萬興剛想出改進的辦法。 (第1/3頁)

閹割版的出口光刻機,全部採用石英透鏡。

石英有良好的光學效能,化學效能也很穩定,光科技運轉的時候,能保證紫外光傳輸穩定。。 石英透鏡技術,早在五十年代就出現了。

鑑於製造技術,石英透鏡多為球形或圓柱形,加工簡單,能保證加工精度。 實踐中。

也有人把石英透鏡製造成非球面形狀。 用在一些精度需求不高的地方。

光刻機精度要求高。

只有球面和柱形石英透鏡才能滿足精度要求。

石英透鏡技術從五十年代出現, 一直用到七十年代,中間有多次改良,改良幅度都不大。 仍然是以球面和柱狀為主。

石英透鏡製造簡單,缺點也“零六零”十分明顯。 首先。

使用石英透鏡,容易引起球差、慧差和像散等光學問題,這些問題會造成成像失真,影響光刻機效能。 限制了晶片精度。

同時。

因為石英透鏡是球面狀的,或者是柱狀的,造成焦點深度相對較淺。

焦點深度和清晰成像範圍成正比,焦點深度越淺,精細成像範圍越小,限制了光刻機的效能。 其次。

石英透鏡工藝侷限和設計侷限,限制了它的最小加工精度。 是用石英透鏡,最小精度都是微米級。

除非有革命性的加工工藝進化,或者換一種材質的透鏡。 否則。

加工精度突破不了微米。

第三就是加工精度限制。

石英透鏡表面是圓形的,或者是援助型的,看起來很圓滑。 實際從微觀角度觀察,很難做到標準的圓。

肉眼看不出來,因為肉眼的精度有限,可一旦用在光刻機上,精度到微米級別,影響就很大。 會導致成像不穩定,導致光學畸形。

出口的閹割版光刻機,用的都是石英透鏡,因為成像不穩定和光學畸形,廢品率就會很高。 廢品率高。

成本分攤到成品上。

造成晶片的成本普遍偏高。

第三是石英的光學折射率相對較高。

折射率高,就會產生折射效應和衍射效應,會造成成像模糊,在一定程度上影響精度。 即使是這樣。

對其他國家來說。

龍國出口的光刻機已經是非常先進,精度非常高,是他們短時間內難以企及的,不得不進口。 要是有自我研發能力還好。

要是沒有自我研發能力, 一直以來進口,就會嚴重限制他們的工業發展,發展速度嚴重落後。 龍國自己用的第一代光刻機,用的也是石英透鏡,但加工技術不一樣。

用的是拋物面透鏡技術。

透過非球面鏡改善相差,相比球面鏡,柱鏡片,拋物面透鏡有更高的精度。

拋霧面透鏡技術,相比球面透鏡技術,複雜很多,加工難度高很多,加工成本也跟著上升。

導致拋物面透鏡比球面透鏡貴很多。 同時。

拋物面透鏡也不完美。

非球面,光線在進入透鏡的時候,折射角度會有所變化,會導致曝光區域的光強度分佈不均。

導致圖案畸形,或者不完全曝光。 這些都會影響光刻機的精度。

比拋物鏡技術更先進的技術是布拉格透鏡技術,能製造出一種有周期性變化折射率的光學元件。

這種技術出現在八九十年代。 製造技術更復雜。

成本更高。

萬興邦沒有采用布拉格透鏡技術,而是採用了更先進的非球面透鏡技術。

萬興邦穿越之前,在繁華年代,最先進的光刻機使用的透鏡,用的技術就是非球面透鏡技術。 相比傳統透鏡。

非球面透鏡技

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